光刻机、刻蚀机对造芯片的重要性已不言而喻，但若没有质量控制设备，同样无法造芯。就像医疗领域的CT、彩超、生化分析仪等辅助检测身体状况的设备一样，半导体质量控制设备也是给芯片“体检”的工具，统称半导体检测设备。

今年5月19日，中科飞测科创板上市，其主要业务便是国产化率只有2%的半导体检测和量测设备[1]，上市首日较发行价涨.62%的成绩，预示着半导体质量控制设备将不再是隐形赛道。

本文是“果壳硬科技”策划的“国产替代”系列第二十三篇文章，

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